提高晶圓鍍膜的附著性，就靠表面粗糙度分析
加工零件有不同高低、深度和間隙凹凸等複雜的形狀，其中，深度且間隔較小的表面坑洞不平稱為表面粗糙度，產品外包裝、汽車儀錶板、觸控螢幕等等表面是否「閃閃發亮」或「粗糙無光澤」；手指或掌心感覺到的不同觸感，皆取決於表面粗糙度的差異，連帶影響產品的附加價值（例如高級感及顧客滿意度），表面粗糙度也會在零件接觸其他部件時，影響其磨損量或密封性，並影響塗料的滲透能力和厚度。因此近年來要求對表面上的細微升降進行數值管控。
表面粗糙度根據其間隙大小，可大致分為3大類 :
1. 形狀 (Form)
為了準確分析表面紋理(波度和粗糙度)，必需去除形狀，而機器的滑動部件、導軌的不準確或零件中的應力，都會讓形狀產生形變，可以透過N次多項式計算得出 Form，進而將之移除。
2. 波度 (Waviness)
波度是表面紋理一個大尺度組成的部分，為範圍從0.5到2.5毫米相對較長的波長，在機械工件上，工件與加工工具間的低頻振動，可能會引起波度，因此波度對於機械接觸（墊片、加工缺陷、軸承）至關重要。
3. 粗糙度 (Roughness)
粗糙度是表面紋理的一個小尺度組成部分，範圍從20微米到500微米，粗糙度可提供有關材料性質和使用之加工類型的訊息，在機械工件上，粗糙度可能是由顆粒磨差引起的，因此，粗糙度對於紋理（視覺效果、摩擦、磨損等）至關重要
簡單來說，表面形狀可藉由表面凹凸大小的不同，將之分類、歸納如下圖所示：
國際上對粗糙度的測量標準有兩種定義，ISO 4287與 ISO 25178，前者是國際標準組織制定的粗糙度測量相關標準，專門為了接觸式量測設備所設計的標準，由於制定時間比較早，較為普及，一般提起的量測標準都會直接聯想到 ISO 4287；而ISO 25178則是為了同時適配接觸式與非接觸式設備，所制定的標準，其差異在於ISO 25178評估方式不會對於「測量位置」與「掃描方向」產生不同的結果，以下以ISO 25178計算線粗糙度為例，具體說明量測手法。
1. Ra (算數平均粗糙度) :
首先，因雷射光(假設)中心亮度與兩側有巨大的光強度差異，故將兩側profile edge去除，再設定cut-off length長度來確定sampling length。接著利用sampling length計算粗糙度(算數平均數)Ra，可以自行決定取多少個Ra(1~n)來計算平均Ra值。
算數平均粗糙度計算公式如下圖，利用此方式即可得到Ra值。
2. Rz (最大高度) :
同Ra計算方式，先去除兩側光源不均勻區域profile edge，接著在cut-off length內分別求出Rp、Rv即可計算出Rz值。
ISO 25178中，面粗糙度計算同樣類似線計算方式，只是將一維資訊擴展為二維資訊，計算公式如下：
表面粗糙度在各種行業和應用中都扮演了重要的角色，值得關注的是，粗糙度並非越小越好，適當的粗糙度才是首要目標，通過3D量測技術，可以更好地理解和控制表面的特性，從而提高產品的性能和品質。