【深入剖析】LMI Gocator 線共焦3D掃描器的專利彩色線共焦技術
市面上的3D Sensor大致可分為線雷射、白光干涉或是雷射共軛焦，雖然線雷射速度快能應用在In-line檢測上，但是經常碰到Z軸精度不足的狀況；而白光干涉或雷射共軛焦，卻因為量測速度太慢而無法應用在In-line檢測上。
LMI的Gocator 5500線共焦3D掃描器，結合了三角量測法與共軛焦技術，開發出專利的彩色線共焦技術，輕鬆解決上述問題，是高精度In-line檢測必備解決方案。
彩色共軛焦的基本架構
- 經過光學鏡組將白光光源分解成連續的波長，並照射在垂直的焦平面上，肉眼看起來就像七彩的彩虹(為容易理解下圖由低至高僅以紅綠藍表示)。
- 當焦平面上照射的物體高度改變時，根據高度不同會反射不同波長到Sensor上，而Sensor前的狹縫可以過濾掉未對焦時的反射光，因此只有在對焦時，反射光才會進入Sensor，從而獲得清晰的成像。
彩色共軛焦運作方式
應用案例
當檢測12吋晶圓時，如果以白光干涉或是雷射共軛焦進行，可能需要數十分鐘，甚至以小時為單位的時間才能完成；如果以LMI Gocator 5500系列中的G5512進行檢測，因其Z軸重複精度高達0.2µm，X軸的視野也能達到11.6mm的大範圍，再加上掃描速度最快可達到16.5kHz，僅需往復掃描27趟，90秒內便能完成檢測。
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